5.1 掃描電子顯微鏡
5.1.1 分辨率
SEM的分辨率能力應(yīng)高于10nm。
5.1.2 放大倍率
SEM的放大倍率應(yīng)為20倍~100000倍之間。
5.2 其他所需設(shè)備
超聲波清洗機、金剛石切割機、離子濺射儀、鼓風(fēng)干燥箱等。
5.1 掃描電子顯微鏡
5.1.1 分辨率
SEM的分辨率能力應(yīng)高于10nm。
5.1.2 放大倍率
SEM的放大倍率應(yīng)為20倍~100000倍之間。
5.2 其他所需設(shè)備
超聲波清洗機、金剛石切割機、離子濺射儀、鼓風(fēng)干燥箱等。