6.1.1 潔凈廠房內(nèi)各潔凈室的空氣潔凈度等級應(yīng)滿足生產(chǎn)工藝對生產(chǎn)環(huán)境的潔凈要求。
6.1.2 應(yīng)根據(jù)空氣潔凈度等級的不同要求，選用不同的氣流流型。
6.1.3 下列情況之一者，其凈化空調(diào)系統(tǒng)宜分開設(shè)置：
1 運行班次或使用時間不同。
2 生產(chǎn)工藝中某工序散發(fā)的物質(zhì)或氣體對其他工序的產(chǎn)品質(zhì)量有影響。
3 對溫、濕度控制要求差別大。
4 凈化空調(diào)系統(tǒng)與一般空調(diào)系統(tǒng)。
6.1.4 潔凈室的溫、濕度范圍應(yīng)符合表6.1.4的規(guī)定。
表6.1.4 潔凈室的溫、濕度范圍
6.1.5 潔凈室內(nèi)的新鮮空氣量應(yīng)取下列兩項中的最大值：
1 補(bǔ)償室內(nèi)排風(fēng)量和保持室內(nèi)正壓值所需新鮮空氣量之和。
2 保證供給潔凈室內(nèi)每人每小時的新鮮空氣量不小于40m3。
6.1.6 潔凈區(qū)的清掃宜采用移動式高效真空吸塵器，但空氣潔凈度等級為1級～5級的單向流潔凈室宜設(shè)置集中式真空吸塵系統(tǒng)。潔凈室內(nèi)的吸塵系統(tǒng)管道應(yīng)暗敷，吸塵口應(yīng)加蓋封堵。
6.1.7 凈化空調(diào)系統(tǒng)設(shè)計對維護(hù)管理的要求應(yīng)符合本規(guī)范附錄C的規(guī)定。
條文說明
6.1 一般規(guī)定
6.1.1 潔凈的生產(chǎn)環(huán)境是生產(chǎn)工藝的需要，是確保產(chǎn)品的成品率和產(chǎn)品質(zhì)量的可靠性、長壽命所必需的。隨著我國國民經(jīng)濟(jì)的發(fā)展，各行各業(yè)對生產(chǎn)環(huán)境的溫度、相對濕度和潔凈度的要求也越來越高。例如：大規(guī)模和超大規(guī)模集成電路的發(fā)展很快，在1980年時其集成度只有64kB，而到目前集成度已提高到1GB；64kB集成電路前工序生產(chǎn)所要求生產(chǎn)環(huán)境的潔凈度等級只有4級和5級，而1GB集成電路前工序生產(chǎn)對生產(chǎn)環(huán)境潔凈度等級的要求提高到1級和2級(0.1μm)。
不同的生產(chǎn)工藝、不同的生產(chǎn)工序?qū)ιa(chǎn)環(huán)境的要求也是不相同的，因此，確定潔凈室的空氣潔凈度等級時應(yīng)根據(jù)不同工藝、不同工序?qū)Νh(huán)境的潔凈度要求而定。
根據(jù)不同生產(chǎn)工藝、不同生產(chǎn)工序?qū)Νh(huán)境潔凈度的不同要求，該高則高，該低則低，盡量縮小高潔凈度等級部分的面積，以局部 高等級凈化和全室較低等級凈化的潔凈室系統(tǒng)代替全室高等級凈化的潔凈室系統(tǒng)。既能確保不同生產(chǎn)工藝對環(huán)境的要求，又能大幅度地降低初投資和運行費用。
例如：對于生產(chǎn)1GB超大規(guī)模集成電路前工序的潔凈室來說，在整個生產(chǎn)過程中只有少數(shù)工序（制版、光刻等）對環(huán)境的潔凈度等級要求最高為1級或2級，而其他大部分工序只要求5級、6級，甚至只有7級。不需將全部潔凈室都設(shè)計為1級或2級。
6.1.4 人是潔凈室內(nèi)主要的發(fā)塵源，作業(yè)人員進(jìn)入潔凈室必須穿著與潔凈室的空氣潔凈度等級相適應(yīng)的潔凈工作服。由于潔凈工作服的透氣性較差，為了保證作業(yè)人員的工作環(huán)境，提高勞動生產(chǎn)率，在潔凈室生產(chǎn)工藝對環(huán)境的溫、濕度沒有特殊要求時，潔凈室內(nèi)的溫度主要是為了作業(yè)人員的舒適。因此，潔凈室溫度冬季為20℃～22℃，夏季為24℃～26℃，濕度冬季為30％～50％，夏季為50％～70％，比較適宜。由于潔凈室（區(qū)）的溫度、相對濕度首先應(yīng)按生產(chǎn)工藝要求確定，只有在生產(chǎn)工藝無要求時，才能按本條的規(guī)定根據(jù)作業(yè)人員的舒適度確定，但在本規(guī)范實施中因潔凈廠房生產(chǎn)的產(chǎn)品多種多樣，作業(yè)人員多少和工作條件也不相同，所以強(qiáng)制執(zhí)行有困難，為此本次修訂改為推薦性條文。
6.1.5 本條為強(qiáng)制性條文?，F(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《采暖通風(fēng)與空氣調(diào)節(jié)設(shè)計規(guī)范》GB 50019中對一般工業(yè)廠房的新鮮空氣量的規(guī)定為每人每小時不小于30m3。由于新鮮空氣量是確保潔凈室（區(qū)）作業(yè)人員健康的重要條件之一，所以本次修訂中對潔凈室（區(qū)）的新鮮空氣量規(guī)定為應(yīng)取補(bǔ)償室內(nèi)排風(fēng)量和保持室內(nèi)正壓值所需新鮮空氣量之和，保證供給潔凈室（區(qū)）內(nèi)每人每小時的新鮮空氣量不小于40m3。兩項中的最大值。
建筑給水排水及采暖工
