4.4.1 潔凈室內(nèi)的空態(tài)噪聲級(jí)，非單向流潔凈室不應(yīng)大于60dB(A)，單向流、混合流潔凈室不應(yīng)大于65dB(A)。
4.4.2 潔凈室的噪聲頻譜限制應(yīng)采用倍頻程聲壓級(jí)，空態(tài)噪聲頻譜的限制值不宜大于表4.4.2中的規(guī)定。

表4.4.2 空態(tài)噪聲頻譜的限制值

4.4.3 潔凈廠房的平面和空間設(shè)計(jì)應(yīng)考慮噪聲控制要求。潔凈室的圍護(hù)結(jié)構(gòu)應(yīng)有良好的隔聲性能，并宜使其各部分隔聲量相接近。
4.4.4 潔凈室內(nèi)的各種設(shè)備均應(yīng)選用低噪聲產(chǎn)品。對(duì)于輻射噪聲值超過潔凈室允許值的設(shè)備，宜設(shè)置專用隔聲或消聲設(shè)施。
4.4.5 凈化空調(diào)系統(tǒng)噪聲超過允許值時(shí)，應(yīng)采取隔聲、消聲、隔振等控制措施。除事故排風(fēng)外，潔凈室內(nèi)的排風(fēng)系統(tǒng)應(yīng)進(jìn)行減噪設(shè)計(jì)。
4.4.6 根據(jù)室內(nèi)容許噪聲級(jí)要求，凈化空調(diào)系統(tǒng)風(fēng)管內(nèi)風(fēng)速宜符合下列規(guī)定：
    1 總風(fēng)管風(fēng)速宜為6m/s～10m/s。
    2 無(wú)送、回風(fēng)口的支風(fēng)管風(fēng)速宜為4m/s～6m/s。
    3 有送、回風(fēng)口的支風(fēng)管風(fēng)速宜為2m/s～5m/s。

條文說明

4.4 噪聲控制

4.4.1 潔凈室的噪聲一般不算高，但數(shù)據(jù)差額較大，相差近10dB(A)。國(guó)內(nèi)關(guān)于噪聲對(duì)健康影響的研究表明，低于80dB(A)的一般工業(yè)噪聲，對(duì)健康的影響不太大。因此，潔凈室噪聲標(biāo)準(zhǔn)的制訂主要考慮噪聲的煩惱效應(yīng)、語(yǔ)言通訊干擾和對(duì)工作效率的影響。
    國(guó)外潔凈室噪聲標(biāo)準(zhǔn)的研究工作開始于20世紀(jì)60年代。1966年制定的美國(guó)聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)《潔凈室環(huán)境控制要求》209a和1974年修訂的209b規(guī)定：“潔凈室的噪聲控制在可能進(jìn)行必要的通話，滿足操作或產(chǎn)品的要求，并使人員保持在舒適和安全的范圍內(nèi)”。
    在《潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境——第四部分，設(shè)計(jì)、施工和啟動(dòng)》IS0 14644-4-2001標(biāo)準(zhǔn)中規(guī)定：“應(yīng)依據(jù)潔凈室內(nèi)人的舒適和安全要求及環(huán)境（如其他設(shè)備）的背景聲壓級(jí)來選擇適宜的聲壓級(jí)。潔凈室的聲壓級(jí)范圍為40～65dB(A)”。
    從收集的國(guó)內(nèi)外潔凈室噪聲標(biāo)準(zhǔn)來看，有以下幾個(gè)特點(diǎn)：潔凈室的噪聲標(biāo)準(zhǔn)一般均嚴(yán)于保護(hù)健康的標(biāo)準(zhǔn)。在潔凈室的環(huán)境下，噪聲條件主要在于保障正常操作運(yùn)行，滿足必要的談話聯(lián)系，提供舒適的工作環(huán)境。絕大多數(shù)標(biāo)準(zhǔn)給出的允許值在65dB(A)～70dB(A)范圍，醫(yī)療行業(yè)則更低。現(xiàn)行的大多數(shù)標(biāo)準(zhǔn)均以A聲壓級(jí)作為評(píng)價(jià)指標(biāo)，也有少數(shù)標(biāo)準(zhǔn)對(duì)各頻帶聲壓級(jí)提出了限制。少數(shù)標(biāo)準(zhǔn)按不同的空氣潔凈度等級(jí)分別給出了噪聲容許值，而大多數(shù)標(biāo)準(zhǔn)對(duì)不同的空氣潔凈度等級(jí)潔凈室提出了一個(gè)統(tǒng)一的容許值。
    根據(jù)“潔凈廠房噪聲評(píng)價(jià)與標(biāo)準(zhǔn)的研究”所得到的成果，我國(guó)59個(gè)潔凈廠房平均噪聲級(jí)的分布，電子工業(yè)216個(gè)潔凈室的噪聲分布狀況和不同聲級(jí)下各種效應(yīng)的主觀評(píng)價(jià)指標(biāo)如圖1所示：
    由圖1可見，若以65dB(A)作為潔凈室噪聲允許值標(biāo)準(zhǔn)，工人感到高煩惱的百分率低于30％，對(duì)集中精神感到有較高影響的百分率不到10％，而對(duì)工作速度、動(dòng)作準(zhǔn)確性的影響則可忽略，從主觀評(píng)價(jià)調(diào)查看，語(yǔ)言通訊干擾可以屬于輕微的等級(jí)。如按這一限值來衡量現(xiàn)有潔凈室的噪聲，則有75％超過標(biāo)準(zhǔn)，就電子工業(yè)而言，也有47％的潔凈室超過標(biāo)準(zhǔn)。
    近年來，我國(guó)的潔凈室環(huán)境技術(shù)有了一定的發(fā)展，但對(duì)噪聲的控制技術(shù)還相對(duì)滯后，從1996-1997年對(duì)國(guó)內(nèi)部分行業(yè)的部分潔凈室進(jìn)行的調(diào)研結(jié)果來看，還有相當(dāng)一部分的潔凈室噪聲在65dB(A)以上，就電子工業(yè)而言，還有約35％的潔凈室超過標(biāo)準(zhǔn)。

圖1 潔凈廠房噪聲分布與評(píng)價(jià)圖
1－59個(gè)潔凈廠房超過某一聲級(jí)的百分率；
2－電子工業(yè)216個(gè)潔凈室超過某一聲級(jí)的百分率；
3－高煩惱率,4－準(zhǔn)確性高影響率；5－工作速度高影響率；
6－集中精神高影響率；7－交談及電話通訊高干擾率

    同樣由圖1得知，若以70dB(A)為噪聲允許值標(biāo)準(zhǔn)，工人感到高煩惱的百分率將達(dá)到39％，對(duì)于集中精神感到有較高影響的百分率為12.4％，對(duì)工作速度和動(dòng)作準(zhǔn)確性影響仍不顯著，對(duì)語(yǔ)言通訊的干擾則屬于較高的等級(jí)。如按70dB(A)的限值來衡量現(xiàn)有潔凈廠房的噪聲，則多數(shù)可以滿足標(biāo)準(zhǔn)。
    目前國(guó)內(nèi)的相當(dāng)一部分潔凈室的隔墻使用的是進(jìn)口或國(guó)產(chǎn)的金屬壁板，由于壁板的隔聲量存在著某些薄弱環(huán)節(jié)而造成隔聲不理想，且室內(nèi)的噪聲仍過高。如上海某公司使用的是進(jìn)口壁板，其室內(nèi)噪聲平均值達(dá)69dB(A)；上海某公司使用的也是進(jìn)口壁板光刻間，測(cè)得其室內(nèi)平均噪聲值為70dB(A)，其他一些潔凈室的生產(chǎn)環(huán)境的噪聲也偏高，也就是說，從噪聲的效應(yīng)來看，標(biāo)準(zhǔn)低于65dB(A)為好。
    對(duì)國(guó)內(nèi)幾個(gè)行業(yè)不同氣流流型潔凈室的靜態(tài)和動(dòng)態(tài)噪聲所進(jìn)行的分析表明，不同氣流流型的靜態(tài)噪聲有較大差異。非單向流潔凈室的靜態(tài)噪聲實(shí)測(cè)值在41dB(A)～64dB(A)范圍內(nèi)，平均為54dB(A)；單向流、混合流潔凈室的靜態(tài)噪聲實(shí)測(cè)值在51dB(A)～75dB(A)范圍內(nèi)，平均為65dB(A)。非單向流潔凈室比單向流潔凈室的靜態(tài)噪聲平均值約低11dB(A)。
    由于噪聲控制要求是確保人員健康的重要條件，本條為強(qiáng)制性條文。
4.4.3～4.4.6 控制設(shè)備噪聲首先要從聲源上考慮，設(shè)計(jì)時(shí)應(yīng)選用低噪聲設(shè)備。在某些情況下，由于技術(shù)或經(jīng)濟(jì)上的原因而難以做到時(shí)，則應(yīng)從噪聲傳播途徑上采取降噪措施，如把高噪聲工藝設(shè)備遷出潔凈室或隔離布置于隔聲間內(nèi)。有些由于與生產(chǎn)聯(lián)系密切，必須置于潔凈區(qū)內(nèi)的高噪聲設(shè)備，亦可采用隔聲罩隔絕噪聲。
    國(guó)內(nèi)現(xiàn)有潔凈廠房中，不少潔凈室將機(jī)械泵一類高噪聲設(shè)備置于潔凈室外套間或技術(shù)夾道內(nèi)，潔凈室內(nèi)噪聲有明顯降低。
    潔凈室的靜態(tài)噪聲主要來源于凈化空調(diào)系統(tǒng)和局部?jī)艋O(shè)備運(yùn)行噪聲，靜態(tài)噪聲的大小與潔凈室氣流流型、換氣次數(shù)等因素有關(guān)。但關(guān)鍵在于凈化空調(diào)系統(tǒng)的布置及合理的降噪措施，不合理的設(shè)計(jì)方案必然導(dǎo)致較高的靜態(tài)噪聲。
    關(guān)于降低潔凈室凈化空調(diào)系統(tǒng)噪聲的措施，國(guó)內(nèi)外有關(guān)資料提出了一些有效的措施：
    如《現(xiàn)代潔凈室概念》一文中強(qiáng)調(diào)“選擇那種能滿足氣流要求的噪聲最低的風(fēng)機(jī)，還應(yīng)該采用彈性減振基礎(chǔ)”。關(guān)于消聲器的使用，文中說：“管道消聲器在中頻和高頻范圍內(nèi)降低噪聲是有效的，當(dāng)風(fēng)管敷設(shè)長(zhǎng)度在50ft以內(nèi)時(shí)，就應(yīng)考慮采用消聲器”。關(guān)于風(fēng)管的連接，文中又說：“通風(fēng)機(jī)和送風(fēng)管道與回風(fēng)管道之間，應(yīng)采用柔性連接管隔開”。還要求“將通風(fēng)機(jī)外殼、靜壓箱和管道等加上襯里”。如北京某大學(xué)微電子研究所回風(fēng)管道在未處理前噪聲高達(dá)83.5dB(A)，經(jīng)過加設(shè)襯墊處理后噪聲降到66.2dB(A)，使光刻間的室內(nèi)環(huán)境噪聲平均下降了7dB(A)～9dB(A)。由此可見，只要對(duì)風(fēng)道系統(tǒng)采取消聲和防止管道固體傳聲等措施，潔凈室噪聲可以大幅度降低。
    國(guó)內(nèi)還有不少潔凈室，由于系統(tǒng)設(shè)計(jì)合理，并采取了降噪措施，室內(nèi)噪聲得到有效控制。
    排風(fēng)系統(tǒng)噪聲對(duì)潔凈室影響極大，以集成電路生產(chǎn)為例，在生產(chǎn)過程中，外延、擴(kuò)散、腐蝕、清洗等多種工序都需設(shè)排風(fēng)系統(tǒng)。近年來，潔凈廠房排風(fēng)系統(tǒng)的噪聲治理日益受到重視，要注意選用低噪聲風(fēng)機(jī)等。
    由于潔凈室內(nèi)的工作環(huán)境要求比較安靜，潔凈室的密封性能較好，噪聲不易衰減。按規(guī)定限制風(fēng)管風(fēng)速，既減小了凈化空調(diào)系統(tǒng)的阻力，降低了風(fēng)機(jī)壓頭和轉(zhuǎn)速，減弱了風(fēng)機(jī)的噪聲，又防止了風(fēng)速過大而產(chǎn)生附加噪聲。
    如上所述，第4.4.3條～第4.4.6條的規(guī)定均為潔凈廠房設(shè)計(jì)中，從平面和空間設(shè)計(jì)到各類設(shè)備、系統(tǒng)及其附屬設(shè)備等的選擇都應(yīng)充分考慮噪聲控制措施，以確保達(dá)到潔凈廠房要求的噪聲控制值。原規(guī)范中將第4.4.3條、第4.4.4條規(guī)定為強(qiáng)制性條文，但在實(shí)施中各單位認(rèn)為規(guī)定過嚴(yán)，可操作性也不強(qiáng)，為此本次修訂改為推薦性條文。