8.2.2 高純氣體管道和閥門的選用應(yīng)符合生產(chǎn)工藝的要求，并應(yīng)符合下列規(guī)定：
1 當氣體純度大于或等于99.999％，露點低于－76℃時，應(yīng)采用內(nèi)壁電拋光的低碳不銹鋼管或內(nèi)壁光亮拋光的不銹鋼管。閥門宜采用隔膜閥或波紋管閥。
2 當氣體純度大于或等于99.99％，露點低于－60℃時，應(yīng)采用內(nèi)壁光亮拋光的不銹鋼管。除可燃氣體管道宜采用波紋管閥外，其他氣體管道宜采用球閥。
8.2.3 當干燥壓縮空氣露點低于－70℃時，應(yīng)采用內(nèi)壁光亮拋光的不銹鋼管；當露點低于－40℃時，宜采用不銹鋼管或熱鍍鋅無縫鋼管。閥門宜采用波紋管閥或球閥。
8.2.4 閥門材質(zhì)宜與相連接的管道材質(zhì)相適應(yīng)。
條文說明
8.2 管道材料和閥門
8.2.1 工業(yè)管道的材料和閥門的選用，由于所輸送的物料品種多樣，它們的物化性質(zhì)不同，具體工程中各種物料的使用工況（壓力、溫度、濃度等）也是不同的，所以本條規(guī)定工業(yè)管道的材料和閥門應(yīng)根據(jù)所輸送物料的物化性質(zhì)和使用工況，在滿足不同的生產(chǎn)工藝要求的前提下，經(jīng)技術(shù)經(jīng)濟比較選擇合適的材質(zhì)。如集成電路生產(chǎn)中所需的高純氣體、特種氣體等都有特殊的和嚴格的要求，如對氣體中的雜質(zhì)和露點要求極為嚴格，需要達到10-9、10-12級，塵埃粒徑要求控制小于0.1μm，甚至0.05μm的粒子，因此需要相應(yīng)高質(zhì)量的輸送管道和閥門，但不同材質(zhì)或同一材質(zhì)管道內(nèi)壁處理方法不同，價格相差甚遠，如某工程擬引進316L材質(zhì)的不銹鋼管，內(nèi)壁電拋光處理要比未經(jīng)處理的價格高出1.6倍～2.1倍。因此管道材料、內(nèi)壁處理和閥門形式的選用要根據(jù)具體的生產(chǎn)工藝區(qū)別對待，這樣才能做到既滿足生產(chǎn)工藝要求，又經(jīng)濟合理。
8.2.2 根據(jù)對國內(nèi)潔凈廠房使用情況的調(diào)查，大多數(shù)工廠高純氣體管道是采用不銹鋼管，因為它具有化學穩(wěn)定性好，滲透性小，吸附性差等特性，輸送的氣體質(zhì)量能滿足生產(chǎn)工藝的要求。
閥門的嚴密性好壞是影響氣體純度的重要因素之一。國內(nèi)多數(shù)潔凈廠房和某些引進或合資項目的高純氣體管道閥門基本上都是采用不銹鋼材質(zhì)，閥門類型有隔膜閥、波紋管閥和球閥。波紋管閥比球閥嚴密性好，隔膜閥除嚴密性好外，還具有閥體死體積小、易吹除的特點，因此適用于氣體純度要求極高，生產(chǎn)工藝嚴格或危險性大的氣體。
如上海某集成電路廠前工序(0.35μm)技術(shù)，芯片直徑8"，要求高純氣體中雜質(zhì)含量均要小于10×10-9，氮、氫、氧、氬氣體管道采用進口SS316L內(nèi)壁電拋光處理（通稱EP管）。316L是低碳不銹鋼管，其使用原因是防止鋼材中碳組分的析出及吸附或釋放雜質(zhì)氣體，影響氣體純度并導(dǎo)致產(chǎn)品成品率下降。閥門是隔膜閥Cajon VCR密封連接形式。又如深圳某公司集成電路后工序，氣體純度要求99.999％、露點－70℃，氮氣、氮氫混合氣、氧氣管道均采用SS304不銹鋼管，國內(nèi)合資企業(yè)進行內(nèi)壁光亮拋光處理，閥門為進口球閥，雙卡套連接。
為此，本條規(guī)定按生產(chǎn)工藝和對氣體純度的要求選用合適的不銹鋼管材和閥門。
8.2.3 本條規(guī)定干燥壓縮空氣露點低于－70℃時，應(yīng)采用不銹鋼管內(nèi)壁經(jīng)拋光處理，并非規(guī)定要進行電拋光。而是可以采用機械拋光?；瘜W拋光俗稱光亮拋光，因為表面光亮水分不易被吸附、滯留在管道表面，而且極易被吹除干燥，對輸送低露點的氣體是十分必要的。SS304鋼相當于國內(nèi)鋼牌號為0Cr18Ni9。如上海某工程集成電路廠干燥壓縮空氣露點要求－73℃，采用管材為SS304鋼，內(nèi)壁光亮拋光（通稱BA管），閥門采用波紋管閥雙卡套連接；深圳某公司集成電路后工序干燥壓縮空氣露點要求－70℃，采用國內(nèi)合資企業(yè)進行電拋光處理，閥門為進口球閥，雙卡套連接。
對于干燥壓縮空氣露點低于－40℃，可以采用0Cr18Ni9不銹鋼管(304)或熱鍍鋅無縫鋼管，這在國內(nèi)已有多年運行經(jīng)驗，證明是可以滿足此類壓縮空氣的輸送要求的。
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