6.3.1 氣流流型的設(shè)計(jì)應(yīng)符合下列規(guī)定：
1 潔凈室（區(qū)）的氣流流型和送風(fēng)量應(yīng)符合表6.3.3的要求?？諝鉂崈舳鹊燃?jí)要求嚴(yán)于4級(jí)時(shí)，應(yīng)采用單向流；空氣潔凈度等級(jí)為4級(jí)～5級(jí)時(shí)，應(yīng)采用單向流；空氣潔凈度等級(jí)為6級(jí)～9級(jí)時(shí)，應(yīng)采用非單向流。
2 潔凈室工作區(qū)的氣流分布應(yīng)均勻。
3 潔凈室工作區(qū)的氣流流速應(yīng)符合生產(chǎn)工藝要求。
6.3.2 潔凈室的送風(fēng)量應(yīng)取下列三項(xiàng)中的最大值：
1 滿足空氣潔凈度等級(jí)要求的送風(fēng)量。
2 根據(jù)熱、濕負(fù)荷計(jì)算確定的送風(fēng)量。
3 按本規(guī)范第6.1.5條的要求向潔凈室內(nèi)供給的新鮮空氣量。
6.3.3 為保證空氣潔凈度等級(jí)的送風(fēng)量，應(yīng)按表6.3.3中的有關(guān)數(shù)據(jù)進(jìn)行計(jì)算或按室內(nèi)發(fā)塵量進(jìn)行計(jì)算。
表6.3.3 氣流流型和送風(fēng)量
注：1 換氣次數(shù)適用于層高小于4.0m的潔凈室；
2 應(yīng)根據(jù)室內(nèi)人員、工藝設(shè)備的布置以及物料傳輸?shù)惹闆r采用上、下限值。
6.3.4 潔凈室內(nèi)各種設(shè)施的布置應(yīng)考慮對(duì)氣流流型和空氣潔凈度的影響，并應(yīng)符合下列規(guī)定：
1 單向流潔凈室內(nèi)不宜布置潔凈工作臺(tái)，非單向流潔凈室的回風(fēng)口宜遠(yuǎn)離潔凈工作臺(tái)。
2 需排風(fēng)的工藝設(shè)備宜布置在潔凈室下風(fēng)側(cè)。
3 有發(fā)熱設(shè)備時(shí)，應(yīng)采取措施減少熱氣流對(duì)氣流分布的影響。
4 余壓閥宜布置在潔凈氣流的下風(fēng)側(cè)。
條文說(shuō)明
6.3 氣流流型和送風(fēng)量
6.3.1 潔凈室的氣流流型應(yīng)考慮避免或減少渦流。這樣可以減少二次氣流，有利于迅速有效地排除粒子。
對(duì)于空氣潔凈度要求不同的潔凈室（區(qū)），所采用的氣流流型亦應(yīng)不同。近年在電子工廠潔凈廠房或醫(yī)藥工業(yè)潔凈廠房?jī)?nèi)，為減少建設(shè)工程造價(jià)、降低能量消耗，常常采用同時(shí)具有單向流和非單向流的混合流潔凈室，即使在微電子生產(chǎn)潔凈廠房中要求1級(jí)～3級(jí)的空氣潔凈度等級(jí)的生產(chǎn)環(huán)境也采用混合流潔凈室，即在潔凈廠房的潔凈生產(chǎn)區(qū)采用5級(jí)，僅在局部或微環(huán)境內(nèi)采用1級(jí)～3級(jí)。根據(jù)上述情況，本條進(jìn)行了新的規(guī)定，并修改為推薦性條文。
6.3.2 潔凈室（區(qū)）的送風(fēng)量是確保其正常運(yùn)行的基本條件，本條規(guī)定的潔凈室（區(qū)）送風(fēng)量應(yīng)取三項(xiàng)中最大值是多年來(lái)國(guó)內(nèi)外的經(jīng)驗(yàn)總結(jié)，如果不是“最大值”，則將使建造后的潔凈室達(dá)不到所要求的潔凈度等級(jí)或環(huán)境條件達(dá)不到要求或作業(yè)人員健康得不到保障，為此，本條規(guī)定為強(qiáng)制性條文。
6.3.3 潔凈室送風(fēng)量計(jì)算所用的數(shù)據(jù)是參照國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)《潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境——第四部分，設(shè)計(jì)、施工和啟動(dòng)》ISO 14644-4-2001中表B.2而編制的。其中，換氣次數(shù)系根據(jù)我國(guó)實(shí)際情況確定的。
(1) 表6.3.3空氣潔凈度等級(jí)系指靜態(tài)而言。其編制理由如下：
1) 工程施工前的空氣潔凈度測(cè)試，一般都是在空態(tài)或靜態(tài)下進(jìn)行的；
2) 國(guó)內(nèi)外標(biāo)準(zhǔn)中大多已明確規(guī)定按靜態(tài)進(jìn)行空氣潔凈度測(cè)試。如果設(shè)計(jì)時(shí)業(yè)主提出須按動(dòng)態(tài)進(jìn)行驗(yàn)收時(shí)，則另行處理。
(2) 參照已經(jīng)發(fā)布的國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)《潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境——第四部分，設(shè)計(jì)、施工和啟動(dòng)》ISO 14644-4中對(duì)微電子潔凈室、醫(yī)藥工業(yè)潔凈室的送風(fēng)量的規(guī)定，以及在本規(guī)范修訂過(guò)程中對(duì)國(guó)內(nèi)已投入運(yùn)行的各類潔凈廠房實(shí)際運(yùn)行狀況的調(diào)查研究，經(jīng)分析表明，《潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境——第四部分，設(shè)計(jì)、施工和啟動(dòng)》ISO 14644-4-2001中表B.2對(duì)不同等級(jí)的潔凈室送風(fēng)量、平均風(fēng)速的相關(guān)數(shù)據(jù)基本合理，編寫組結(jié)合國(guó)內(nèi)的實(shí)際狀況作了必要的調(diào)整，現(xiàn)將表B.2摘錄于表8。
表8 微電子潔凈室實(shí)例
注：1 制定最佳設(shè)計(jì)條件之前，首先應(yīng)明確使用環(huán)境的ISO級(jí)別有關(guān)的占用狀態(tài)；
2 氣流流型符號(hào)的意義：U為單向流流型；N為非單向流流型，M為混合流流型（單向流和非單向流的組合流型）；
3 平均風(fēng)速通常適用于單向流流型。單向流平均流速大小與被控制空間的形狀和熱氣流溫度有關(guān)。單向流流速不是指過(guò)濾器面風(fēng)速；
4 單位面積送風(fēng)量適用于非單向流流型和混合流流型。單位面積送風(fēng)量的推薦值適用于層高為3.0m的潔凈室；
5 在潔凈室設(shè)計(jì)中須考慮密封措施；
6 對(duì)于污染源以及污染區(qū)可用隔板或空氣幕予以有效分隔。
由于本條規(guī)定的潔凈送風(fēng)量主要是依據(jù)目前國(guó)內(nèi)外的實(shí)際狀況的經(jīng)驗(yàn)總結(jié)，各類工業(yè)產(chǎn)品的生產(chǎn)工藝的差異和不斷進(jìn)步，使其潔凈室的送風(fēng)量有所差異，所以本次修訂將本條改為推薦性條文。
建筑給水排水及采暖工
